Tuotteet Etsi
Tuoteryhmät

Hiukkasten kiekkojen standardit

Hiukkasten laskeutumista käytetään PSL-pallojen ja piidioksidihiukkasten sijoittamiseen 150mm-levyille 300mm-kiekkoihin KLA-Tencor Surfscan SSIS -työkalujen kalibrointiin.

PSL-vohvelistandardit ja piihiukkasten vohveli -standardit tuotetaan hiukkasten laskeutumisjärjestelmällä, joka ensin analysoi PSL-koon tai piidioksidin koon piikin differentiaalisen liikkuvuuden analysaattorilla (DMA). DMA on erittäin tarkka hiukkaskannaustyökalu yhdistettynä kondensaatiohiukkasten laskuriin ja tietokoneohjaukseen erittäin tarkan kokohuipun eristämiseksi NIST Traceable -hiukkaskokokalibroinnin perusteella. Kun kokohuippu on varmistettu, hiukkaskokovirta ohjataan pääpiikiin, kiekkojen vakiopintaan; lasketaan, kun se on kerrostunut kokonaiseen kerrostumaan kiekon yli tai pistemäisenä kerrostumana tietyissä paikoissa kiekon ympäri. Vohveli-standardit ovat erittäin tarkkoja hiukkaskokoja KLA-Tencor Surfscan SP1, KLA-Tencor Surfscan SP2, KLA-Tencor Surfscan SP3, KLA-Tencor Surfscan SP5, Surfscan SPx, Tencor 6420, Tencor 6220, Tencor 6200, ADE Hit, ja Topcon SSIS -työkalut ja kiekkojen tarkastusjärjestelmät. - 2300 XP1 -hiukkasten keräysjärjestelmä voi kerääntyä 150 mm, 200 mm ja 300 mm kiekkoihin käyttämällä PSL-palloja tai piidioksidihiukkasia välillä 30 nm - 2um.

Differentiaalinen liikkuvuusanalysaattori, DMA-jänniteskannaus, piidioksidikoko, 100nm
Differentiaalinen liikkuvuusanalysaattori, DMA-jännite, piidioksidikokohuippu 100nm: llä
PSL-pallojen koon standardit ja piidioksidin koon standardit skannataan differentiaalisen liikkuvuuden analysaattorilla todellisen kokohuipun määrittämiseksi. Kun kokopiikki on analysoitu, vohvelistandardi voidaan tallettaa kokonaisena kerrostumana tai pistepinnoituksena tai monipistepinnoituksena vahvistostandardeina. Piidioksidikokohuippu 100-nanomittarilla (0.1 mikronia) skannataan edellä ja DMA havaitsee todellisen piidioksidikoon piikin 101nm: ssä.

Täydellisen laskeuman tai pistepinnoituksen kiekkojen standardit

PYYDÄ TARJOUS
Hiukkaspinnoitusjärjestelmä tarjoaa erittäin tarkat, PSL-kalibrointikiekostandardit ja piidioksidipitoisuus kiekkojen standardit.

2300 XP1 hiukkassijoitusjärjestelmämme tarjoaa automaattisen hiukkasten laskeutumisen valvonnan tuottamaan PSL-kiekkostandardeja ja piidioksidikiekostandardeja.

Hiukkaspinnoitussovellukset
Korkean resoluution, NIST-jäljitettävän DMA (differentiaalinen liikkuvuusanalysaattori) -koko ja luokittelu ylittävät uuden SEMI-standardin M52, M53 ja M58-protokollan PSL-koon tarkkuuden ja kokojakauman leveyden mukaan
Automaattinen laskeuman koon kalibrointi kohdissa 60nm, 100nm, 269nm ja 900nm
Kehittynyt differentiaalisen liikkuvuuden analysaattori (DMA), jossa on automaattinen lämpötilan ja paineen kompensointi parantamaan järjestelmän vakautta ja mittaustarkkuutta
Automaattinen kerrosprosessi tarjoaa useita pistepinnoituksia yhdelle kiekolle
Täydelliset kiekkojen kerrostumat kiekon yli; tai Spot Depositions missä tahansa paikassa kiekkoa
Suuri herkkyys mahdollistaa PSL-pallon ja piidioksidihiukkasten laskeutumisen 20nm: stä 2um: iin
Tallenna piihappohiukkaset kiekkojen tarkistusjärjestelmien kalibrointiin tehokkaan laserskannauksen avulla
Tallenna PSL-pallot kiekkojen tarkistusjärjestelmien kalibrointiin käyttämällä pienitehoista laserskannausta
Tallenna PSL-pallot ja piidioksidipartikkelit ensisijaisille piikiekkovaatimuksille tai 150mm-valokuvamaskeillesi.

PSL kalibrointi kiekkojen Standard, piidioksidi Kontaminaatio Wafer Standard
Hiukkasten laskeutustyökaluja käytetään erittäin tarkan PSL-koon standardin tai piidioksidipartikkelikokojen kerrostamiseen kiekkostandardiin erilaisten kiekkojen tarkistusjärjestelmien kalibroimiseksi.

PSL-kalibrointikiekkojen standardi kiekkojen tarkistusjärjestelmien kalibrointiin, kun kiekot skannataan pienitehoisella laserilla.
Piidioksidipitoisuus Kiekkojen standardi kiekkojen tarkistusjärjestelmien kalibrointiin käyttämällä suuritehoista laseraa kiekkojen skannaamiseen.
Kalibrointimaski tai piidioksimaski
PYYDÄ TARJOUS
2300 XP1 sisältää NIST Traceable, Certified mask -standardit 125mm- ja 150mm-borosilikaattimaskeille.

PSL-kalibrointimaski vakiona 125mm-maskeissa
Piidioksidipitoisuusstandardi 150mm-maskeissa

Kääntää "