Tuotteet Etsi
Tuoteryhmät

Surf-Cal, hiukkaskokostandardit, tilavuus 50 ml, esisekoitettu 1x10E8 ja 1x10E10 konsentraatioon / ml

SURF-CAL™ hiukkaskokostandardit, joita käytetään skannauspinnan tarkastusjärjestelmien (SSIS) koon kalibroinnissa ja valvonnassa. Alla olevat hiukkaskoot vastaavat instrumenttien valmistajien vaatimia kalibrointihiukkaskokoja. Sinun tulee suorittaa säännölliset kalibrointitarkistukset ja viikoittainen koon ja lukumäärän valvonta varmistaaksesi, että kiekkotarkistusskannerisi vertautuu muissa paikoissa oleviin skannereihin. Kaikki polystyreenimikropallot suspendoidaan deionisoituun, suodatettuun veteen 50 ml:n pullon tilavuudessa konsentraatiolla 3 x 10 E8 tai 1 x 10 E10 hiukkasta ml:aa kohti. Tähdellä * merkityt koot ovat samanlaisia ​​kuin NIST SRM -hiukkaset tällä halkaisijalla. Taitekerroin on 1.59 @ 589 nm (25C) kaikille alla oleville polystyreenimikropalloille. Jokainen pullo on stabiili 12 kuukautta, ja se on pakattu NISTin kalibrointi- ja jäljitettävyystodistuksella.

Sijoittamalla SURF-CAL-, NIST-jäljitettävää PSL- (polystyreenilateksi) -palloja paljaalle pii- ja kuviolevyille, voit suorittaa määräajoin kokokalibrointitarkistuksia KLA-Tencor-, Hitachi-, ADE-, Topcon SSIS-työkaluillasi ja verrata kiekkotarkistusskannereitasi osoitteessa olevien skannereiden kanssa. muita paikkoja. Voit myös arvioida SSIS:si suorituskykyä valmistusprosessin kriittisissä vaiheissa. Kaikki tuotteet suspendoidaan deionisoituun, suodatettuun veteen (DI-vesi) 50 ml:n pulloissa konsentraatiolla 3 x 10 e10 hiukkasta/ml tai 1 x 10 e10 hiukkasta/ml. Nämä Surf-Cal-hiukkaskokostandardit ovat polystyreenimikropalloja, jotka on mitoitettu Differential Mobility Analyzerilla (DMA) tai muilla koon poissulkemistekniikoilla.

Osanumero

Konsentraatio Count/ml

Hiukkasten halkaisija

Kokojakauma

 Hinta per 50 ml pullo

APPD-047 X 3 108 hiukkasia/ml 0.047 μm 0.004μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

APPD-047B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.047 μm 0.004μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

APPD-064 X 3 108 hiukkasia/ml 0.064 μm 0.003μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

APPD-064B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.064 μm 0.003μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

APPD-083 X 3 108 hiukkasia/ml 0.083 μm 0.004μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-083B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.083 μm 0.004μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-092 X 3 108 hiukkasia/ml 0.092 μm 0.004μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-092B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.092 μm 0.004μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-100* X 3 108 hiukkasia/ml 0.100 μm 0.003μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-100B* X 1 1010 hiukkasia/ml 0.100 μm 0.003μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-125 X 3 108 hiukkasia/ml 0.126 μm 0.003μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-125B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.126 μm 0.003μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-155 X 3 108 hiukkasia/ml 0.155 μm 0.003μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-155B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.155 μm 0.003μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-200 X 3 108 hiukkasia/ml 0.202 μm 0.004μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-200B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.202 μm 0.004μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-204 X 3 108 hiukkasia/ml 0.204 μm 0.004μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-204B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.204 μm 0.004μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-215 X 3 108 hiukkasia/ml 0.220 μm 0.003μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-215B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.220 μm 0.003μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-305 X 3 108 hiukkasia/ml 0.304 μm 0.004μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-305B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.304 μm 0.004μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-365 X 3 108 hiukkasia/ml 0.360 μm 0.005μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-365B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.360 μm 0.005μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-500 X 3 108 hiukkasia/ml 0.498 μm 0.006μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-500B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.498 μm 0.006μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-800 X 3 108 hiukkasia/ml 0.809 μm 0.006μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-800B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.809 μm 0.006μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-802 X 3 108 hiukkasia/ml 0.802 μm 0.009μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD-802B X 1 1010 hiukkasia/ml 0.802 μm 0.009μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD1100 X 3 108 hiukkasia/ml 1.112 μm 0.011μm

$ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD1100B X 1 1010 hiukkasia/ml 1.112 μm 0.011μm

$ 1495.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

AP PD1600 X 3 108 hiukkasia/ml 1.59 μm 0.016μm $ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN
AP PD2000 X 3 108 hiukkasia/ml 2.01 μm 0.019μm $ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN
AP PD3000 X 3 108 hiukkasia/ml 3.04 μm 0.026μm $ 295.00   LISÄÄ OSTOSKORIIN

Mittausmenetelmä:

NIST-jäljitettävyyden varmistamiseksi näiden tuotteiden sertifioidut halkaisijat siirrettiin transmissioelektroni- tai optisella mikroskopialla NIST-standardin vertailumateriaaleista (2). Epävarmuus laskettiin käyttämällä NIST:n teknistä huomautusta 1297, 1994 Edition "Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results" (4). Listattu epävarmuus on laajennettu epävarmuus, jonka peittokerroin on kaksi (K=2). Piikkien halkaisija laskettiin käyttämällä noin ± 2s:n hiukkaskokojakauman aluetta. Kokojakauma laskettiin koko huipun standardipoikkeamana (SDS). Variaatiokerroin (CV) on yksi standardipoikkeama ilmaistuna prosentteina piikin halkaisijasta. FWHM-jakauma (täysi leveys puolessa maksimissa) laskettiin jakaumana piikin korkeuden puolessa ilmaistuna prosentteina piikin halkaisijasta.

1. "The National Technology Roadmap for Semiconductors", Semiconductor Industry Association (1999)

2. SD Duke ja EB Layendecker, "Sisäinen standardimenetelmä submikronisten pallomaisten hiukkasten koon kalibroimiseksi elektronimikroskopialla", Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Opas piikiekkojen pintatarkastusjärjestelmien määrittämiseen 130 nm -teknologian sukupolven avulla.

4. Barry N. Taylor ja Chris E. Kuyatt, "Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results". NIST Technical Note 1297, 1994 painos, syyskuu 1994.

Kääntää "