Tuotteet Etsi
Tuoteryhmät
Odotetaan tuotekuva

NIST-standardin vertailumateriaalin hiukkaskoon kalibrointi

NIST, standardivertailumateriaali, polystyreenimikropallot ja -helmet, joita käytetään kalibrointi- ja kontaminaatiokiekkojen standardeissa KLA- ja KLA-Tencor-kiekkojen tarkastusjärjestelmien koon tarkkuuden tarkistamiseen.

Kategoria: Tunnisteet: , , , , , , , ,

Kuvaus

 

NIST SRM, partikkelikokovaatimukset, PSL-pallot, koon kalibrointi

NIST SRM -partikkelikokostandardit ovat kalibrointistandardeja, joita tunnetaan ympäri maailmaa käytettäväksi kaikissa sovelluksissa, joissa vaaditaan NIST SRM (kokovertailumateriaali) -standardi, jolla on erittäin tarkka mitoitus, kapeat kokohuiput ja kapea standardipoikkeama. Niitä voidaan käyttää erilaisten hiukkaskokoonpanolaitteiden kalibrointiin ja validointiin, mukaan lukien valonsirontalaitteet, elektronimikroskoopit ja differentiaalisen liikkuvuuden analysaattorit. Ne ovat erityisen tärkeitä pintaskannaustarkastusjärjestelmien kalibroinnissa, joita käytetään piikiekkojen vikojen havaitsemiseen ja karakterisointiin. Tarkoja vertailuhiukkasia tarvitaan skannausjärjestelmien kehittämiseksi ja edistämiseksi korkean suorituskyvyn ja kustannustehokkaan kiekkojen valmistuksen kannalta, joka on elintärkeää laitteen pienentämiselle. Vertailupartikkeleita voidaan käyttää myös toimittamaan monidispersioita (yhden koon piikkejä) hiukkasia aerosolimittarien testaamiseksi, ja ne ovat hyödyllisiä tutkittaessa aerosolikinetiikkaa ja arvioitaessa hiukkasdetektorivastetta.

Modaaliläpimitan varmennettu arvo:

60 nm SRM 1964 polystyreenimikropallot on 60.39 nm, laajennetun epävarmuuden ollessa ± 0.63 nm;

100 nm SRM 1963A polystyreenimikropallot on 101.8 nm, laajennetun epävarmuuden ollessa ± 1.1 nm;

269 nm SRM 1691 polystyreenimikropallot on 269 nm, laajennetun epävarmuuden ollessa ± 4 nm;

895 nm SRM 1690 polystyreenimikropallot on 895 nm, laajennetun epävarmuuden ollessa ± 5 nm.

Mittaukset suoritettiin käyttämällä differentiaalista liikkuvuusanalyysiä, ja ne ovat jäljitettävissä He-Ne-laserin aallonpituuteen ilmassa, 632.807 nm, joka on määritetty suhteessa pituuden perusstandardiin.

Polystyreenilateksimikropallot, 20-900nm, polystyreenilateksihiukkaset - Osta nyt

Polystyreenilateksimikropallot, 1um-160um, polystyreenilateksihiukkaset - Osta nyt

Pallomaiset halkaisijat kalibroidaan lineaarisilla mitoilla, jotka lasketaan NIST: llä. Epäsäännöllisesti muotoiltujen hiukkasten sijasta käytetään palloja muodon hiukkasille herkkien laserskannerien vasteen minimoimiseksi. Standardit pakataan vesisuspensioina 5 millilitrassa (ml) tippaavissa pulloissa. Hiukkaspitoisuudet on optimoitu dispergoinnin ja kolloidisen stabiilisuuden helpottamiseksi. Pallojen tiheys on 1.05 g / cm3 ja taitekerroin 1.59 @ 589 nm, mitattuna 25 celsiusasteella.

Jokainen paketti sisältää sertifikaatin kalibroinnista ja jäljitettävyydestä NIST: iin, joka sisältää kalibrointimenetelmän ja sen epävarmuuden kuvauksen sekä kemiallisten ja fysikaalisten ominaisuuksien taulukon. Saatavana on myös käyttöturvallisuustiedote, jossa on käsittely- ja hävittämisohjeet. PSL-pullot on numeroitu erikseen teknisen palvelun ja tuen helpottamiseksi myynnin jälkeen.

NIST SRM -pallo 60.4nm, 101.8nm, 269nm ja 895nm
Hiukkaskoostumus Polystyreeni-lateksi, PSL-pallot
Hiukkasten tiheys 0.625 g / cm³
Taitekerroin 1.59 @ 589nm (25 ° C)
Pullokoko 5 ml
Viimeinen käyttöpäivä ≤ 24 kuukautta
lisäaineet Sisältää pieniä määriä pinta-aktiivista ainetta
Ehdotettu säilytyslämpötila. 2-8 ° C
Pullon koko ja tilavuus 5ml pullo
PSL-pallot, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm

Tuotteen osanumero

Nimellishalkaisija

Sertifioitu keskimääräinen huippu

Std. Kehittäjä ja ansioluettelo

Kiintoainepitoisuus

AP1690   

 895 nm

895nm ± 5 nm

 0.7 nm

0.50%

AP1691   

 269 nm

269nm ± 4 nm

 5.3 nm

0.50%

AP1963A   

 101.8 nm

101.8nm ± 1.1 nm

 0.55 nm

0.50%

AP1964   

 60.4 nm

60.39nm ± 0.63 nm

0.31 nm

0.50%

Harjoitusohjelmat muihin tapahtumiin

Kääntää "