Polystyreeni-lateksihelmet, PSL-pallot

PSL-pallot, polystyreeni-lateksihelmet, hiukkaskoko

Applied Physics tarjoaa PSL-palloja ja polystyreenilateksihelmiä hiukkaskokostandardeina aerosoliinstrumenttien kalibrointiin. Kiekkojen tarkastustyökalut, kuten KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE ja Hitachi, vaativat myös kokokalibroinnin, joka saadaan aikaan käyttämällä polystyreenilateksipalloja. PSL-palloja, polystyreenilateksihelmiä, on saatavilla 20 nm - 10 mikronin kokoisina vastaavien kiekkojen tarkastusjärjestelmien ja laserhiukkaslaskurien kokovastekäyrien kalibroimiseksi. PSL-palloja, joiden halkaisija on 20 nm - noin 5 mikronia, käytetään tyypillisesti laserhiukkaslaskurien kokovasteen kalibroimiseen. PSL-palloilla voidaan tuottaa PSL-kiekkostandardeja ja hiukkaskiekkostandardeja, joita käytetään KLA-Tencor Surfscan -työkalujen ja vanhempien Tencor Surfscan -työkalujen kokovasteen kalibrointiin.

Polystyreenilateksihelmiä voi tilata Visa- tai Mastercard-korteilla, soita Applied Physics kohdassa (719) 428-4042.

Wafer Inspection Systems, joita kutsutaan Scanning Surface Inspection Systemsiksi, SSIS, varsinkin KLA-Tencorilta ja Hitachilta, kalibroidaan käyttämällä PSL Wafer Standards -standardeja, jotka ovat Prime Silicon -kiekkoja, jotka on levitetty PSL-palloilla tietyssä koossa ja kapeassa kokojakaumassa. Kiekkojen tarkastustyökaluja käytetään 300 mm, 200 mm, 150 mm kiekkojen pintojen puhtauden tarkastamiseen; paljas silikoni tai kalvopinnoitettu, kiekon pinta. SSIS voi tunnistaa PSL-pallojen ja -partikkelien X/Y-sijainnin, kuvata kunkin vian koon sekä tehdä yhteenvedon kiekon pinnan kokonaishiukkasmäärästä. KLA-Tencor-kiekkojen tarkastusjärjestelmiä, kuten Tencor 6200, 6420 ja KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 ja KLA-Tencor SP3, käytetään puolijohdeteollisuudessa tähän sovellukseen. Topconilla on 3000-, 5000- ja 7000-sarjan kiekkojen tarkastusjärjestelmät. Estek, ADE, Aeronca ja Hitachi tarjoavat myös erilaisia ​​kiekkojen tarkastusjärjestelmiä. Lähes jokainen nykyään valmistettu SSIS pystyy nyt havaitsemaan 30 nm:n tai paremman hiukkaskoon herkkyyden. PSL-palloja käytetään edustamaan hiukkaskokostandardeja kiekon pinnalla. Applied Physics tarjoaa PSL Sphere -kokoja 20 nm - 160 mikronia koon kalibrointiin, HEPA-suodatintesteihin jne. PSL-palloja voi tilata soittamalla Applied Physics kohdassa (719) 428-4042.

PSL-palloja käytetään PSL-kiekkojen saostusjärjestelmien kanssa tuottamaan PSL-kiekkojen standardeja, joita kutsutaan myös hiukkasten kiekkojen standardeiksi. Kummassakin tapauksessa sen jälkeen kun PSL-kiekkostandardi on tuotettu, se asetetaan kiekkojen tarkistusjärjestelmään ja skannataan yhdellä laser-SSIS- tai kaksoislaser-SSIS-järjestelmällä. Varsinaista PSL-kokovastetta verrataan SSIS-kokovasteeseen. Jos kaksi piikkiä eivät täsmää, SSIS on kalibroitava.

Esisekoitetut, korkean konsentraation PSL-pallot on tarkoitettu 2300XP1-järjestelmille, 2300 NPT-1-järjestelmille, 2300NPT-2 ja M2300G3 kiekkojen kerrosjärjestelmille.

Sekoittamattomat PSL-pallot, yleensä 1% -pitoisuutena.

Esisekoitetut PSL-pallot tulevat 50ml-pullossa, kooltaan yksidispersiona (1-kokojakauma), ja niitä toimitetaan kooltaan noin 47nm - 950nm. Tämä PSL-liuos kaadetaan suoraan sumutin- tai sumutinastiaan. Esisekoitettu on kätevä tapa ostaa polystyreenilateksihelmiä, koska kaikki laimennukset on suoritettu erittäin yhtenäisellä tavalla, ilman mussia, ilman häiriöitä, jolloin käyttäjä ei voi käsitellä polystyreenilateksihelmien sekoittamista dekantterilasiin, DI-vedellä. ja ultraäänialustat. Sekoittamaton PSL-materiaali toimitetaan 15ml-pullossa, kooltaan monodispersiona (1-kokojakauma) ja yleensä 1-pitoisuutena. Näitä PSL-palloja on saatavana laajassa kokovalikoimassa, mutta tarkoituksiamme varten koon 20nm ja 4um välillä. PSL-materiaali on sekoitettava oikeaan laimennukseen. Muuten se on väkevöity tai liian heikko tarjoamaan tehokkaita tuloksia, kun yritetään tallettaa jollain yllä mainituista PSL-kiekkojen kerrosjärjestelmistä.

Partikkelikokostandardit ja polystyreenimikropallolateksihelmet Applied Physics Inc. Partikkelikokostandardit ja polystyreenilateksihelmet alkaen Applied Physics Inc.